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測定・検査機器
マイクロフォーカスＸ線検査装置
東芝ITコントロールシステム株式会社
小型精密部品、電子部品などの内部状況を解析できるマイクロフォーカスX線検査装置です。
製品仕様
基本仕様
| 型式 | TXV-S4090FD | TXV-S4130FD |
|---|---|---|
| Ｘ線出力 | 90kV/200μA | 130kV/300μA |
| Ｘ線最小焦点寸法 | 5μm | |
| X線検出器 | FPD（フラットパネルディテクタ）130万画素 | |
| 空間分解能 | 5μm（JIMA RT RC-05） | |
| Ｘ線幾何倍率 | 69倍 | 54倍 |
| モニター上倍率 | 210倍（24インチモニター） | 160倍（24インチモニター） |
| 試料テーブル最大外形 | W410×D360×H80 mm | W410×D360×H80 mm |
| 試料最大質量 | 2kg | |
| 本体外形寸法 | W1150×D1105×H1725 mm | W1150×D1105×H1725 mm |
| 本体質 | 約950kg | 約1100kg |
| 漏洩線量 | 1μSv/h以下 | |
| 電源／接地 | 単相 AC100V, 1.5kVA／D種 | |
画像解析・計測機能
計測機能 濡れ性、ワイヤ流れ、2点間寸法、ボイド計測、BGAボイド率測定
解析機能 疑似カラー、プロフィール、ヒストグラム、3次元表示