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特殊機器

マイクロフォーカスX線検査装置

東芝ITコントロールシステム株式会社

小型精密部品、電子部品などの内部状況を解析できるマイクロフォーカスX線検査装置です。

マイクロフォーカスX線検査装置

製品仕様

基本仕様

型式TXV-S4090FDTXV-S4130FD
X線出力90kV/200μA130kV/300μA
X線最小焦点寸法5μm
X線検出器FPD(フラットパネルディテクタ)130万画素
空間分解能5μm(JIMA RT RC-05)
X線幾何倍率69倍54倍
モニター上倍率210倍(24インチモニター)160倍(24インチモニター)
試料テーブル最大外形W410×D360×H80 mmW410×D360×H80 mm
試料最大質量2kg
本体外形寸法W1150×D1105×H1725 mmW1150×D1105×H1725 mm
本体質約950kg約1100kg
漏洩線量1μSv/h以下
電源/接地単相 AC100V, 1.5kVA/D種

画像解析・計測機能
計測機能  濡れ性、ワイヤ流れ、2点間寸法、ボイド計測、BGAボイド率測定
解析機能  疑似カラー、プロフィール、ヒストグラム、3次元表示